Logo
Uniepedie
Sdělení
Nyní na Google Play
Nový! Ke stažení Uniepedie na vašem zařízení se systémem Android™!
Bezplatná
Rychlejší přístup než prohlížeči!
 

Elektronová litografie

Index Elektronová litografie

Elektronová litografie (angl. electron-beam lithography, e-beam lithography, EBL) je postup, při kterém je svazek elektronů emitován tak, aby vytvořil vzory (obrazy) na ploše pokryté tenkou vrstvou elektronového rezistu (expozice) a následně jsou selektivně odstraněny (rozpuštěny) buď exponované nebo neexponované oblasti rezistu (vyvolání rezistu).

21 vztahy: Účel, Elektromagnetické záření, Elektron, Elektronový mikroskop, Fotolitografie, Fyzika kondenzovaného stavu, Integrovaný obvod, Interferometr, Laser, Makromolekula, Molární hmotnost, Molekula, Nanotechnologie, Optika, Polymethylmethakrylát, Rastrovací elektronový mikroskop, Substrát, Svařování svazkem elektronů, Vakuum, Vývěva, Wafer.

Účel

Účel označuje to, „kvůli čemu“ (řecky hú heneka) něco jest, něco se podniká nebo děje (Aristotelés), hlavní cíl či smysl věci nebo jednání.

Nový!!: Elektronová litografie a Účel · Vidět víc »

Elektromagnetické záření

Část viditelného spektra Elektromagnetické záření (viz též elektromagnetické vlny) je příčné postupné vlnění magnetického a elektrického pole tedy elektromagnetického pole.

Nový!!: Elektronová litografie a Elektromagnetické záření · Vidět víc »

Elektron

Elektron je subatomární částice se záporným elektrickým nábojem.

Nový!!: Elektronová litografie a Elektron · Vidět víc »

Elektronový mikroskop

Mikroskop Siemens, 1973 Elektronový mikroskop je obdoba světelného mikroskopu, ve kterém jsou ale fotony nahrazeny elektrony a skleněné čočky elektromagnetickými čočkami.

Nový!!: Elektronová litografie a Elektronový mikroskop · Vidět víc »

Fotolitografie

Fotolitografie (nebo "optická litografie") je postup používaný při mikrovýrobě pro selektivní opracování částí tenkých vrstev nebo materiálu podložky (substrátu).

Nový!!: Elektronová litografie a Fotolitografie · Vidět víc »

Fyzika kondenzovaného stavu

Fyzika kondenzovaného stavu se zabývá vlastnostmi látek v kondenzovaném stavu, tj.

Nový!!: Elektronová litografie a Fyzika kondenzovaného stavu · Vidět víc »

Integrovaný obvod

Paměť EPROM o kapacitě 256 × 8 bitů ze 70. let 20. století Integrovaný obvod (zkratka IO) je moderní elektronická součástka.

Nový!!: Elektronová litografie a Integrovaný obvod · Vidět víc »

Interferometr

Princip Michelsonova interferometru Interferometr je přístroj pro velmi přesná měření, jehož princip je založen na interferenci světla.

Nový!!: Elektronová litografie a Interferometr · Vidět víc »

Laser

Helium-neonový laser Červený (660 & 635 nm), zelený (532 & 520 nm) a modrofialový (445 & 405 nm) laser Laser (akronym z anglického Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation, tj. „zesilování světla stimulovanou emisí záření“) je optický zdroj elektromagnetického záření tj.

Nový!!: Elektronová litografie a Laser · Vidět víc »

Makromolekula

Makromolekula je rozsáhlá molekula, zpravidla s velkou molární hmotností.

Nový!!: Elektronová litografie a Makromolekula · Vidět víc »

Molární hmotnost

Molární hmotnost je fyzikální veličina, která udává hmotnost jednotkového látkového množství dané látky (tedy hmotnost 1 molu).

Nový!!: Elektronová litografie a Molární hmotnost · Vidět víc »

Molekula

Různá vyobrazení molekul Molekula je částice složená z atomů nebo iontů.

Nový!!: Elektronová litografie a Molekula · Vidět víc »

Nanotechnologie

Jako nanotechnologie se obecně označuje technický obor, který se zabývá tvorbou a využíváním technologií v měřítku řádově nanometrů (obvykle cca 1–100 nm), tzn.

Nový!!: Elektronová litografie a Nanotechnologie · Vidět víc »

Optika

Optika (z řeckého optikós, což znamená „týkající se vidění“, od óps znamenající „oko, zrak“) je disciplína fyziky, která se v původním smyslu zabývá světlem, jeho šířením v různých prostředích a na jejich rozhraních, zabývá se vzájemným působením světla a látky, zkoumá podstatu světla a další jevy, které se světlem souvisejí.

Nový!!: Elektronová litografie a Optika · Vidět víc »

Polymethylmethakrylát

Polymethylmethakrylát (PMMA), běžně známý jako plexisklo nebo akrylátové sklo je průhledný syntetický polymer s vlastnostmi termoplastu.

Nový!!: Elektronová litografie a Polymethylmethakrylát · Vidět víc »

Rastrovací elektronový mikroskop

ÚFCH JH (2020) Analogový typ SEM Rastrovací nebo též skenovací či řádkovací elektronový mikroskop (SEM) je elektronový mikroskop, který využívá ke zobrazování pohyblivý svazek elektronů.

Nový!!: Elektronová litografie a Rastrovací elektronový mikroskop · Vidět víc »

Substrát

Slovo substrát vyjadřuje podklad nebo základ jednoty a homogennosti, ale jako takové má více různých významů.

Nový!!: Elektronová litografie a Substrát · Vidět víc »

Svařování svazkem elektronů

Hluboký svar Svařování svazkem elektronů nebo elektronové svařování nebo svařování elektronovým paprskem je tavný způsob spojování součástí, při kterém je zdrojem energie potřebné k roztavení spojovaných dílů v místě jejich styku kinetická energie elektronů, která se v místě dopadu na pevnou látku přeměňuje v teplo.

Nový!!: Elektronová litografie a Svařování svazkem elektronů · Vidět víc »

Vakuum

Školní vývěva k demonstračním účelům Vakuum (z lat. vacuus, prázdný) česky též vzduchoprázdno znamená prázdný prostor, ve fyzice prostor s velmi malou hustotou částic.

Nový!!: Elektronová litografie a Vakuum · Vidět víc »

Vývěva

Turbomolekulární vývěva Vývěva je zařízení, které odčerpává vzduch či jiné plyny z uzavřeného prostoru, a vytváří tak částečné vakuum.

Nový!!: Elektronová litografie a Vývěva · Vidět víc »

Wafer

Vyleptaný křemíkový wafer. Křemíkový wafer v ochranném balení. Wafery průměrů 2, 4, 6 a 8 palců Wafer (substrátový disk) je základní disk z polovodiče používaný jako substrát, na kterém se vytvářejí mikroobvody.

Nový!!: Elektronová litografie a Wafer · Vidět víc »

OdchozíPřicházející
Ahoj! Jsme na Facebooku teď! »